【特徴】

●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
●化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
【用途】

●濃縮機などの化学機器。
●半導体製造装置。
●製薬機械。
●薬品処理後の乾燥。
●真空乾燥機、連結乾燥機
【仕様】

●2段排気方式
●一台から異電圧に別作対応
●ケミカルタイプ
●排気速度(L/min)50/60Hz:200/240
●到達圧力(Pa):0.67
●吸気口径:KF-25
●電源(V):三相200
●騒音値(dB):-
●サーマルプロテクタ付:○
●使用油:SO-M
●全幅×全長×全高(mm):170.0×509.5×241.1
●寸法(mm):170.0×509.5×241.1
【使用上の注意】

●真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。
●特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。
●腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。

詳細情報・スペック